Как уменьшить загрязнение масла в диффузионных насосах высокого-вакуума
Mar 10, 2026
1. Особенности конструкции и аппаратные решения (самое важное)
Установите маслоуловитель типа перегородки или зонтика-.
Перегородка в виде лабиринта-между выпускным отверстием диффузионного насоса и вакуумной камерой помогает блокировать попадание паров масла непосредственно в камеру.
Используйте холодную ловушку (наиболее эффективное решение).
Холодная ловушка, расположенная над насосом, конденсирует пары масла до того, как они достигнут камеры. Охлаждение может обеспечиваться жидким азотом, охлажденной водой или системой охлаждения. Это один из наиболее эффективных способов предотвращения обратного потока.
Выбирайте жидкости для диффузионных насосов с низким-паром-давлением.
Используйте высококачественные масла на основе -силикона-, например жидкость для диффузионных насосов Dow Corning DC‑704 или жидкость для диффузионных насосов Dow Corning DC‑705. Жидкости с более низким давлением паров значительно снижают риск загрязнения.
2. Надлежащая операционная практика (часто упускают из виду)
Соблюдайте правильную последовательность-запуска и выключения.
Всегда позволяйте диффузионному насосу достичь рабочей температуры, прежде чем начнется полная перекачка. При выключении сначала выключите нагреватель и дайте насосу остыть, прежде чем останавливать форнасос. Внезапная потеря форвакуумной перекачки, когда насос горячий, может привести к сильному обратному потоку масла.
Никогда не выпускайте воздух из насоса, пока он горячий.
Поступление воздуха в горячий диффузионный насос может быстро окислить и разложить масло насоса, вызывая образование загрязнений и увеличивая риск уноса масла.
Поддерживайте стабильное и адекватное охлаждение.
Правильный поток охлаждающей воды имеет важное значение. Плохое охлаждение снижает эффективность конденсации пара и увеличивает вероятность миграции паров масла вверх по потоку.
3. Техническое обслуживание и регулярный уход.
Регулярно заменяйте масло в насосе
Не ждите, пока масло станет темным или вязким. Стареющее масло имеет более высокое давление паров и более склонно к загрязнению и обратному потоку.
Содержите внутреннюю часть насоса в чистоте
Периодически очищайте корпус насоса, форсуночный узел и перегородки. Остатки и отложения масла могут быть повторно-унесены потоком паров.
Поддерживайте хороший форвакуумный вакуум
Если давление предварительного насоса слишком велико, струя пара становится нестабильной, что увеличивает обратный поток масла.
4. Расширенные меры для сверх-чистоты приложений
Установите запорный клапан высокого-вакуума.
Клапан между камерой и диффузионным насосом позволяет полностью изолировать систему, когда насос не используется, предотвращая миграцию паров масла.
Используйте безмасляные-насосы там, где чистота имеет решающее значение.
Для таких применений, как обработка полупроводников или прецизионная оптика, во многих системах диффузионные насосы заменяются турбомолекулярными насосами, например, производства Pfeiffer Vacuum или Edwards Vacuum, чтобы полностью исключить загрязнение маслом.